我们的客户是一家位于合肥的半导体设备公司,拥有一支由行业内资深专家和顶尖技术人才组成的研发团队,在芯片设计、制造工艺等关键环节取得了一系列突破性成果,部分技术已达到行业领先水平。
地点:合肥
岗位职责:
1. 主导RPS/CCP/ICP设备的研发设计,优化设备结构(如螺旋线圈匝数、电极间距)以提升等离子体密度(>1e12 cm⁻³)与均匀性(±3%偏差);
2. 设计并验证基于Plasma的半导体工艺(如SiC功率器件刻蚀、3D NAND深孔蚀刻),确保关键尺寸控制(<5nm线宽)与深宽比(>40:1)达标;
3. 解决Plasma设备在量产中的核心问题(如ICP设备鞘层电压波动、RPS系统臭氧浓度不稳定),推动设备良率提升至99.9%;
4. 推动研究成果产业化,例如将RPS技术应用于晶圆清洗工艺,减少化学品使用量30%以上;
5. 与设备团队共建Plasma测试平台,制定设备验收标准(如等离子体密度分布测试、离子能量分布测试)。
任职要求:
1. 至少5年以上工作经验,最好10年以上工作经验;
2. 在半导体application方面要有经验,如CVD、PVD、Etch、Asher设备厂里有Plasma相关经验;
3. 研发或制作过RPS/CCP/ICP等Plasma设备。
顾问邮箱:niepengzhao@recotalent.cn
